据俄罗斯下诺夫哥罗德策略发展机构的近期公布,俄罗斯科学院下诺夫哥罗德应用物理研究所(IPF RAS)正在开发俄罗斯首套半导体光刻设备,并对外夸下海口:这套光刻机能够使用 7nm 生产芯片,可于 2028 年全面投产。
据介绍,他们计划在六年内制作出光刻机的工业原型,首先要在 2024 年开发一台 alpha 机器。之后到 2026 年,alpha 应该被 Beta 所取代。届时所有系统都将得到改进和优化,分辨率也将得到提升,生产力也将提高,许多操作将实现机械自动化。最后一步是为光刻机带来更强的光源、改进的定位和馈送系统,并使得这一套光刻系统能够快速准确地工作。
编译:IT之家