一贯孱弱的中国半导体设备业忽然成了美国风投追逐的对象。《第一财经日报》昨日获悉，国内目前唯一能为12英寸半导体工厂生产设备的公司——中微半导体公司（下称“中微”）再获美国多家风投公司3500万美元（约合人民币2.8亿元）联合注资。

美国华登国际、光速风险投资合伙人、红点风投、中西部合伙人、湾区合伙人、全球催化剂合伙人、美国科天投资继续扮演了投资角色。国际投行巨头高盛则参与了投资。而在两年前首轮融资中，上海市政府也曾作为投资方与风投一起共同注资3000多万美元。

中国半导体设备企业确实正走向半导体产业链核心环节。就在一周前，国内最大设备制造商北方微电子正式与中芯国际签订了设备合同，这是国内设备首次进入全球三大半导体代工企业生产线。

而在国家半导体产业“十一五”规划中，半导体设备业也是核心规划项目。中国国家信息化产业部副司长丁文武曾在2006年中国半导体年会上强调，未来5年，中国将力争在6英寸线设备上完全自主，8英寸线光刻机等设备实现实用，12英寸线65纳米光刻机等设备上有所突破。

尽管如此，国内半导体设备市场依然是国外企业的天下。美国应用材料、诺发等多家公司几乎垄断了这一领域，只留给本土企业非常低端、辅助的应用空间。SEMI（全球半导体设备与材料协会）9月底发布最新报告预测称，未来三年，中国半导体工厂设备总投资将分别高达20.33亿美元、20.53亿美元、25.56亿美元。而依据2004年的初步统计，中国本土设备只占不到1/50。

中微董事长兼CEO尹志尧对《第一财经日报》表示，这将直接加快公司最新生产设备成功导入市场。据透露，公司最新系列设备目前正加紧测试，已有两家半导体公司初步签订了采购协议。

美国华登国际风险投资公司董事长Lip-BuTan表示，继续投资中微的原因在于，亚洲正日益成为全球最大的半导体设备消化基地，而尹志尧等领导团队也是他们考虑的重要原因。

中微一位市场人士说，与应用材料、诺发等全球设备巨头在中国主要转售二手设备，而中微则将高端设备研发、生产中心直接设立在亚洲，尤其中国，能直接依据客户需求设计生产。